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一周前我们曾报道过台湾华亚公司向著名光刻机厂商ASML下达了一份金额为2320万美元的设备订单的消息,而最近有消息称华亚又向这家光刻机厂商追加下达了一份价值为7460万美元的设备订单.
按照ASML公司现有的光刻设备定价来估算,这次华亚很可能订购了三台ASML生产的ArF光源(193nm波长)液浸式光刻机,或者订购的可能是多台KrF光源(248nm波长)干式光刻机.
这两轮光刻机采购行为显示华亚正在积极拓展其芯片厂的产能.
CNBeta编译
原文:fabtech
http://it/2011-04-28/1524741.php
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按照ASML公司现有的光刻设备定价来估算,这次华亚很可能订购了三台ASML生产的ArF光源(193nm波长)液浸式光刻机,或者订购的可能是多台KrF光源(248nm波长)干式光刻机.
这两轮光刻机采购行为显示华亚正在积极拓展其芯片厂的产能.
CNBeta编译
原文:fabtech
http://it/2011-04-28/1524741.php